Maßgebend für den "Beginn der Herstellung" i.S.d. § 6 Abs. 1 Satz 1 FördG ist nicht die Stellung des Bauantrags (Nichtanwendbarkeit der § 8 Abs. 1 FördG i.d.F. v. 24.06.1991 bzw. § 8 Abs. 1a FördG i.d.F. v. 22.12.1999 und § 3 Abs. 2 Satz 6 ZonenRFG), sondern der Zeitpunkt, in dem der Steuerpflichtige erstmals seine Entscheidung zur Herstellung des Wirtschaftsguts für sich bindend und unwiderruflich nach außen hin erkennbar macht. Zu den Arbeiten, die ein Investitionsvorhaben konkret ins Werk setzten, gehören auch anfallende Planungsarbeiten (hier: Beauftragung eines Architekten im Dezember 1991 und Unschädlichkeit des erst nach dem 31.12.1999 stattgefundenen Grundstückserwerbs).