Gründe:

Die Klägerin und Beschwerdegegnerin (Klägerin) ist eine GmbH, die eine Fabrik in A betrieb; sie befindet sich in Liquidation. Ihr jetziger Liquidator hatte außer der Klägerin noch weitere Gesellschaften gegründet. Hierzu gehörte auch die in B ansässige M-GmbH, die als "Vertriebsfirma" der Klägerin fungierte.

Die Klägerin hatte Silizium-Scheiben (Wafer) zur Herstellung von Mikro-Chips erworben. Hierzu waren mehrere Produktionsschritte notwendig, die nur zum Teil von der Klägerin ausgeführt werden konnten. Die Klägerin übersandte derartige Wafer der M-GmbH in B und stellte ihr entsprechende Lieferungen im Wert von insgesamt ... DM in Rechnung. Die M-GmbH versandte die Wafer an Bearbeitungsbetriebe in das Ausland.

Zwischen den Parteien ist streitig, inwieweit die weiter bearbeitete Ware wieder zurück an die Klägerin gelangte. Nach den Feststellungen des Finanzgerichts (FG) war dies überwiegend der Fall.

Die Klägerin behauptet, den genannten Rechnungen lägen Lieferungen i.S. von § 1 des Berlinförderungsgesetzes (BerlinFG) und § 1 des Umsatzsteuergesetzes 1980 (UStG) zugrunde, und hat hierfür die entsprechende Vergünstigung beantragt.

Nach einer Steuerfahndungsprüfung hat der Beklagte und Beschwerdeführer (das Finanzamt --FA--) die beantragte Vergünstigung abgelehnt.