»1. Setzt das FA die Investitionszulage lediglich abweichend vom Antrag des Anspruchsberechtigten in geringerer Höhe fest, so ist statthafte Klageart für ein auf die antragsgemäße Festsetzung gerichtetes Klagebegehren die Anfechtungsklage in der Form der Abänderungsklage (ständige Rechtsprechung, zuletzt Urteil des erkennenden Senats vom 20. Dezember 2000 III R 17/97, BFH/NV 2001, 914, m.w.N.). 2. Ein wirksamer Investitionszulagenantrag setzt in formeller Hinsicht u.a. voraus, dass innerhalb der --für das Streitjahr geltenden-- Antragsfrist die einzelnen Wirtschaftsgüter so genau bezeichnet worden sind, dass der für die Prüfung des Antrags und für die Festsetzung der Zulage zuständige Bedienstete mit Ablauf der Antragsfrist klar und eindeutig erkennen kann, für welche konkreten Wirtschaftsgüter die Zulage begehrt wird. 3. Eine unter dem Vorbehalt der Nachprüfung ergehende Festsetzung der Investitionszulage verhindert grundsätzlich die Entstehung eines Vertrauensschutzes. Die Finanzbehörde ist an einer Änderung einer solchen Vorbehaltsfestsetzung auch nicht ausnahmsweise nach Treu und Glauben allein deswegen gehindert, weil das FA bei einer für zwei vorangegangene Wirtschaftsjahre durchgeführten Investitionszulagen-Sonderprüfung formelle Mängel der für diese Jahre gestellten Anträge nicht beanstandet hatte.«